Bu, yüksek vakum ortamında bir tür damıtmadır, malzeme moleküler hareketi serbest yol farkı için, ısıya duyarlı malzeme veya yüksek kaynama noktalı malzeme damıtma ve saflaştırma işleminde gerçekleştirilir. Kısa Yol Damıtma esas olarak kimyasal, farmasötik, petrokimya, baharat, plastik, petrol ve diğer alanlar.